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    河南省多晶硅工程技術研究中心

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      河南省多晶硅工程技術研究中心(以下簡稱“多晶硅工程中心”),于2007年6月由河南省科技廳批準建設(豫科計[2007]10號),自2007年12月建成投入使用。

      經過持續的的建設和發展,多晶硅工程中心建成了氯硅烷分離提純平臺、四氯化硅氫化平臺、多晶硅還原平臺、多晶硅高純后處理平臺、還原尾氣干法回收平臺、硅基電子氣體試驗平臺、光纖四氯化硅試驗平臺和測試分析中心。其中測試分析中心已通過CMA認證和CNAS認可,可以對外提供56項權威硅材料相關檢測服務?,F有多晶硅實驗用大型設備和高純物料專用檢測儀器近二百臺套,擁有技術人員和管理人員135人,其中中高級研究人員80人。

      多晶硅工程中心以“打造一個以多晶硅為主體的高純半導體材料及新能源材料生產工藝和裝備技術、檢測分析技術的研發平臺;同時打造為中硅高科技術創新的源泉、國內多晶硅技術人才的搖籃“為宗旨。一直以多晶硅材料產業對低單耗、高品質、清潔生產的制備技術迫切需求為出發點,以關鍵技術的自主創新、兼顧吸收創新、集成創新為指導思想,開展多晶硅核心技術、關鍵工藝技術以及關鍵裝備的研究,開展可能引導多晶硅產業結構優化升級的戰略性、前瞻性的新理論、新技術、新工藝、新裝備的研發,培養產業工程技術創新人才以及促進重大的科技成果應用;為我國多晶硅材料大規模、低單耗、高品質、清潔生產制備技術提供核心技術支撐,為國內的多晶硅產業提供技術服務。

      自成立以來,先后完成國家863計劃課題、國家科技支撐計劃課題以及省市科研項目等近百項,申請專利100多項,多項成果獲得國家科技進步獎、省市和行業學會的科技獎勵,擁有多項具有自主知識產權的多晶硅生產工藝及裝備系統技術,打破了美、日、德等國的技術封鎖和市場壟斷,推進了國家優先重點發展的多晶硅高技術產業化進程,促進電子信息產業、太陽能光伏發電產業的發展,在上級領導單位和依托單位的大力支持下,本中心已成為國內領先的多晶硅制備工程技術研發平臺,國內多晶硅技術人才的培養搖籃,企業技術創新的源泉。

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